臭氧的空氣源有兩大類：一是空氣，二是氧氣。用空氣作為空氣源，但臭氧濃度低，臭氧水濃度也相對較低，殺菌效果不理想，并且需要半年清洗一次，易產生副產物氮氧化物。采用氧氣作為空氣源，制取臭氧濃度高，臭氧水濃度高殺菌效果明顯。尤其適用于自來水廠，氣源干凈，故障點少。

    具體來說，臭氧發生器氣源的選用：臭氧的應用主要以發生量來確定，分為氣態下消毒和液態下消毒兩大類。臭氧發生量和使用量一般按照發生量的額定發生量乘以時間來確定，但在不同的用途和不同的場所應計出衰減量而后確定。臭氧發生器在使用中，氣源的配置直接影響臭氧的發生濃度、產量和純度，氣源一般分為普通氣源、干燥空氣源、富氧氣源和工業氧氣氣源四種，以上氣源的配置 ，在發生裝置相同的情況，濃度和產量依次遞增。按照應用常識，一般不應配置普通氣源，因為這會影響發生裝置的連接使用壽命并導致發生量不穩定。因此，常用的氣源按用途大體可分為下列幾種：

1）干燥氣源——空間消毒、自來水處理、游泳池水、養殖水、生產循環水、中水回用等

2） 富氧氣源——臭氧濃度需求較高的使用場所，如純凈水、礦泉水、污水處理、醫藥食品車間等

3） 工業氧氣源——純度要求較高、濃度需求較重要、小氣量應用場所等。